一種六氟乙烷的純化方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201210328491.3 申請日 -
公開（公告）號 CN103664501B 公開（公告）日 2015-09-23
申請公布號 CN103664501B 申請公布日 2015-09-23
分類號 C07C19/08(2006.01)I;C07C17/38(2006.01)I 分類 有機化學(xué)〔2〕;
發(fā)明人 馬建修;杜漢盛;陳艷珊;石平湘 申請（專利權(quán)）人 浙江德清華科氣體有限公司
代理機構(gòu) 廣州三環(huán)專利代理有限公司 代理人 顏希文
地址 528241 廣東省佛山市南海區(qū)里水鎮(zhèn)和順逢西村文頭嶺腳東側(cè)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種六氟乙烷的純化方法，將六氟乙烷原料在-70℃~-35℃，0.1~1MPa條件進行精餾；將經(jīng)過精餾的所述六氟乙烷原料在-100℃~-70℃溫度條件下進行低溫吸附；將經(jīng)過低溫吸附的所述六氟乙烷原料在0.5~1.5MPa的壓力條件下進行加壓吸附，獲得六氟乙烷產(chǎn)品；所述六氟乙烷產(chǎn)品的CO2體積濃度≤0.5ppm，H2O體積濃度≤1ppm。采用本發(fā)明，解決了六氟乙烷中CO2和H2O脫除深度不夠和引入無水HCl造成安全隱患的問題，降低能耗，增強吸附劑的吸附效果，使六氟乙烷產(chǎn)品達到純度在99.9995%以上，滿足半導(dǎo)體與微電子工業(yè)中對于電子特氣的要求。