一種六氟乙烷的純化方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201210328491.3 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN103664501A 公開(kāi)（公告）日 2014-03-26
申請(qǐng)公布號(hào) CN103664501A 申請(qǐng)公布日 2014-03-26
分類(lèi)號(hào) C07C19/08(2006.01)I;C07C17/38(2006.01)I 分類(lèi) 有機(jī)化學(xué)〔2〕;
發(fā)明人 馬建修;杜漢盛;陳艷珊;石平湘 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 浙江德清華科氣體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州三環(huán)專(zhuān)利代理有限公司 代理人 佛山市華特氣體有限公司;廣東華南特種氣體研究所有限公司;廣東華特氣體股份有限公司
地址 528241 廣東省佛山市南海區(qū)里水鎮(zhèn)和順?lè)晡鞔逦念^嶺腳東側(cè)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種六氟乙烷的純化方法，將六氟乙烷原料在-70℃~-35℃，0.1~1MPa條件進(jìn)行精餾；將經(jīng)過(guò)精餾的所述六氟乙烷原料在-100℃~-70℃溫度條件下進(jìn)行低溫吸附；將經(jīng)過(guò)低溫吸附的所述六氟乙烷原料在0.5~1.5MPa的壓力條件下進(jìn)行加壓吸附，獲得六氟乙烷產(chǎn)品；所述六氟乙烷產(chǎn)品的CO2體積濃度≤0.5ppm，H2O體積濃度≤1ppm。采用本發(fā)明，解決了六氟乙烷中CO2和H2O脫除深度不夠和引入無(wú)水HCl造成安全隱患的問(wèn)題，降低能耗，增強(qiáng)吸附劑的吸附效果，使六氟乙烷產(chǎn)品達(dá)到純度在99.9995%以上，滿(mǎn)足半導(dǎo)體與微電子工業(yè)中對(duì)于電子特氣的要求。