綜合型集成電路高溫動態(tài)老化裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN98118105.8 申請日 -
公開（公告）號 CN1110847C 公開（公告）日 2003-06-04
申請公布號 CN1110847C 申請公布日 2003-06-04
分類號 H01L21/66 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 曹驥 申請（專利權）人 杭州通測微電子有限公司
代理機構 杭州天正專利事務所 代理人 王兵
地址 310021浙江省杭州市彭埠支路88號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種用于集成電路高溫動態(tài)老化的裝置，包括殼體。殼體內(nèi)裝有高溫箱、老化電源、系統(tǒng)電源、老化板、示波器，一個安裝有專用老化軟件的主控計算機、下位機、信號發(fā)生、信號驅動、二級老化電源程控發(fā)生裝置組成的信號控制電路和信號回檢、二級電流檢測裝置、示波器、顯示器組成的信號回檢電路，老化信號經(jīng)老化板編程選通加到試品輸入端進行動態(tài)老化，回檢信號經(jīng)選通后，分別在示波器、顯示器上顯示數(shù)據(jù)、波形，可廣泛應用于集成電路生產(chǎn)使用廠、所。