高溫烤箱置物架組件

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021234229.9 申請日 -
公開（公告）號 CN212161767U 公開（公告）日 2020-12-15
申請公布號 CN212161767U 申請公布日 2020-12-15
分類號 H01L21/67 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 熊志紅;鄭思溫 申請（專利權(quán)）人 深圳仕上電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳中細(xì)軟知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 孔祥丹
地址 518000 廣東省深圳市寶安區(qū)福海街道新和社區(qū)暉信工業(yè)園B棟廠房1層2層、4層，C棟廠房1層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供了一種高溫烤箱置物架組件，包括料架骨架和多個(gè)托架，多個(gè)托架設(shè)置在料架骨架上，托架的材質(zhì)為陶瓷。本實(shí)用新型的技術(shù)方案有效地解決了現(xiàn)有技術(shù)中半導(dǎo)體工件在高溫處理過程中容易摻雜雜質(zhì)，降低半導(dǎo)體質(zhì)量和成品率的問題。