一種用于高空微壓探測的壓力傳感器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202123286004.5 申請日 -
公開（公告）號 CN216869858U 公開（公告）日 2022-07-01
申請公布號 CN216869858U 申請公布日 2022-07-01
分類號 G01L9/04（2006.01）I;H03F3/45（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 陳美意;張加宏;顧芳;王超;李玲 申請（專利權）人 南京信息工程大學
代理機構 南京縱橫知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 -
地址 210044江蘇省南京市江北新區(qū)寧六路219號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種用于高空微壓探測的壓力傳感器，SOI硅片的襯底硅經(jīng)過光刻刻蝕等步驟形成應力薄膜并與底部的玻璃基座形成E型真空腔。SOI硅片的頂部器件層摻雜形成四個柵型電阻和兩個PNP雙極型三極管，四個柵型電阻分別作為兩個三極管的基極電阻和集電極電阻，且兩個三極管構成差分放大電路。電阻采用柵型納米厚度的電阻，在梁?島應力增強結(jié)構中其受外部壓力作用時阻值變化更明顯，具有高的信噪比與靈敏性。位于上方和下方的柵型電阻受壓力變化電阻阻值會上升，而位于左右兩側(cè)的柵型電阻阻值會下降，由于電阻變化而產(chǎn)生的電壓信號輸入到兩個PNP三極管組成的差分放大電路，將壓力引起的阻值變化信號進一步放大，從而達到高空微壓測量的目的。