一種反極性LED結(jié)構(gòu)及其制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210434189.X 申請日 -
公開（公告）號 CN114695616A 公開（公告）日 2022-07-01
申請公布號 CN114695616A 申請公布日 2022-07-01
分類號 H01L33/22（2010.01）I;H01L33/14（2010.01）I;H01L33/02（2010.01）I;H01L33/00（2010.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 趙鵬;徐洲;馬英杰;蔡和勛;伏兵 申請（專利權(quán)）人 揚州乾照光電有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 225101江蘇省揚州市下圩河路8號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請公開了一種反極性LED結(jié)構(gòu)及其制作方法，通過在反極性外延片P?GaP窗口層上做光刻，通過干法或濕法刻蝕工藝對高摻雜的P?GaP窗口層部分進(jìn)行刻蝕，形成圖形化的P?GaP窗口層，然后再整面鍍膜形成氧化結(jié)構(gòu)，在不影響電壓的情況下，提高外量子效率，使電流擴(kuò)展更好，降低電壓。