一種改善電池片發(fā)灰的鍍膜工藝

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910923948.7 申請日 -
公開（公告）號 CN110629202A 公開（公告）日 2019-12-31
申請公布號 CN110629202A 申請公布日 2019-12-31
分類號 C23C16/50;C23C16/34;C23C16/52;H01L31/0216;H01L31/18 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 沈亞光;吳靜 申請（專利權）人 四川中森億超科技有限公司
代理機構 成都行之專利代理事務所（普通合伙） 代理人 劉沙粒
地址 239300 安徽省滁州市天長市經濟開發(fā)區(qū)經六路、緯三路
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種改善電池片發(fā)灰的鍍膜工藝，本工藝的工藝條件為：第一層膜中通入的NH3和SiH4流量比為4?5。本工藝能有效的避免電池發(fā)灰的現(xiàn)象，提高電池鍍膜質量，提高使用效率，更便于使用。