一種垂直腔面發(fā)射激光器快速老化方法及裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010406606.0 申請日 -
公開（公告）號 CN111585164B 公開（公告）日 2021-07-06
申請公布號 CN111585164B 申請公布日 2021-07-06
分類號 H01S5/00 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 高逸群;許聰基;向宇;岳光禮 申請（專利權）人 蘇州長瑞光電有限公司
代理機構 北京德崇智捷知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 楊楠
地址 215024 江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)蘇虹東路388號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種垂直腔面發(fā)射激光器快速老化方法，對晶圓上的各垂直腔面發(fā)射激光器分別進行單次大電流脈沖老化與光老化相組合的組合老化；所述單次大電流脈沖老化具體為：對垂直腔面發(fā)射激光器施加脈沖寬度不大于0.5ms，電流大小為Ith+Is的電流脈沖，Ith為所述垂直腔面發(fā)射激光器的閾值電流，Is的取值范圍為45mA～60 mA；所述光老化具體為：對垂直腔面發(fā)射激光器施加5?12小時的光老化驅動電流，所述光老化驅動電流為所述垂直腔面發(fā)射激光器的發(fā)光功率—電流的變化曲線上發(fā)光功率增大至最高點的80?90%所對應的電流。本發(fā)明還公開了一種垂直腔面發(fā)射激光器快速老化裝置。本發(fā)明在確保能提前發(fā)現(xiàn)各類型缺陷芯片，從而降低用戶使用風險的同時，還可大幅降低老化成本。