一種晶圓化學(xué)鍍治具

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202020849484.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN212175036U 公開（公告）日 2020-12-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN212175036U 申請(qǐng)公布日 2020-12-18
分類號(hào) C23C18/16 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 王鶴龍;李國(guó)慶 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蘇州長(zhǎng)瑞光電有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京德崇智捷知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 蘇州長(zhǎng)瑞光電有限公司
地址 215024 江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)蘇虹東路388號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種晶圓化學(xué)鍍治具，包括底部托盤和一組活動(dòng)托盤；所述底部托盤和活動(dòng)托盤均包含相同尺寸的矩形底盤，所述矩形底盤的每一邊均至少開設(shè)有一條向?qū)呇诱沟耐ú?，并且所述矩形底盤的其中三條邊上均設(shè)置有豎直擋板，所述活動(dòng)托盤可層疊置于底部托盤之上并以下層托盤的矩形底盤上的豎直擋板作為支撐；所述底部托盤的矩形底盤設(shè)置有豎直擋板的三條邊的外側(cè)均設(shè)置有豎直的固定桿，用于限制活動(dòng)托盤水平方向的移動(dòng)。相比現(xiàn)有技術(shù)，本實(shí)用新型在可以方便安全地取放片的同時(shí)，能有效減小治具整體尺寸，降低鍍液的使用量。