一種垂直腔面發(fā)射激光器快速老化方法及裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202010406606.0 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN111585164A | 公開（公告）日 | 2021-07-06 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN111585164A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-07-06 |
| 分類號(hào) | H01S5/00 | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 高逸群;許聰基;向宇;岳光禮 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 蘇州長(zhǎng)瑞光電有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京德崇智捷知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 楊楠 |
| 地址 | 215024 江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)蘇虹東路388號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種垂直腔面發(fā)射激光器快速老化方法，對(duì)晶圓上的各垂直腔面發(fā)射激光器分別進(jìn)行單次大電流脈沖老化與光老化相組合的組合老化；所述單次大電流脈沖老化具體為：對(duì)垂直腔面發(fā)射激光器施加脈沖寬度不大于0.5ms，電流大小為Ith+Is的電流脈沖，Ith為所述垂直腔面發(fā)射激光器的閾值電流，Is的取值范圍為45mA～60 mA；所述光老化具體為：對(duì)垂直腔面發(fā)射激光器施加5?12小時(shí)的光老化驅(qū)動(dòng)電流，所述光老化驅(qū)動(dòng)電流為所述垂直腔面發(fā)射激光器的發(fā)光功率—電流的變化曲線上發(fā)光功率增大至最高點(diǎn)的80?90%所對(duì)應(yīng)的電流。本發(fā)明還公開了一種垂直腔面發(fā)射激光器快速老化裝置。本發(fā)明在確保能提前發(fā)現(xiàn)各類型缺陷芯片，從而降低用戶使用風(fēng)險(xiǎn)的同時(shí)，還可大幅降低老化成本。 |
