一種防清潔死角的太陽能電池晶體硅清洗裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201821090406.3 申請日 -
公開（公告）號 CN208753272U 公開（公告）日 2019-04-16
申請公布號 CN208753272U 申請公布日 2019-04-16
分類號 H01L21/67;H01L21/68 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 劉宏;王春定;龔志國;姚學(xué)森;劉柏林 申請（專利權(quán)）人 天長市百盛半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 合肥市長遠(yuǎn)專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 傅磊
地址 239300 安徽省滁州市天長市秦欄鎮(zhèn)第二工業(yè)園區(qū)百盛半導(dǎo)體科技有限公司
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種防清潔死角的太陽能電池晶體硅清洗裝置，包括：水槽、托盤組、以及用于提供高壓氣流的高壓氣流供給機(jī)構(gòu)，其中：水槽的內(nèi)側(cè)壁上設(shè)有相對布置的第一滑槽、第二滑槽；托盤組包括至少一個(gè)托盤，且托盤的一側(cè)設(shè)有第一滑塊和遠(yuǎn)離第一滑塊的一側(cè)的第二滑塊；托盤包括底板和若干個(gè)側(cè)板，底板為鏤空結(jié)構(gòu)，底板的下方設(shè)有限位柱，各側(cè)板均固定在底板的上方并在任意相鄰的兩個(gè)側(cè)板之間預(yù)留間距以形成卡槽；各側(cè)板的內(nèi)部均設(shè)有夾腔，且各側(cè)板上的夾腔通過管路彼此連通；任意相鄰的兩個(gè)側(cè)板相互靠近的一側(cè)側(cè)壁上均設(shè)有與其夾腔連通的氣孔；高壓氣流供給機(jī)構(gòu)與所述管路可拆卸連接。本實(shí)用新型可以有效提高工件的清洗效果，且無清洗死角。