一種傾斜式的晶圓片沖水花籃

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121729696.3 申請日 -
公開（公告）號 CN215418125U 公開（公告）日 2022-01-04
申請公布號 CN215418125U 申請公布日 2022-01-04
分類號 H01L21/673（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 黃惠鶯;薛正群;鄧彪 申請（專利權(quán)）人 福建中科光芯光電科技有限公司
代理機構(gòu) 福州元創(chuàng)專利商標代理有限公司 代理人 陳方淮;蔡學俊
地址 362712福建省泉州市石獅市高新區(qū)創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)中心11#廠房1層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種傾斜式的晶圓片沖水花籃，包括傾斜放置沖洗臺，所述沖洗臺內(nèi)部中空，其沖洗端面為圓形且端面上開設(shè)若干圓孔與內(nèi)部相通，所述沖洗臺下端面水平并與增高墊固連支撐，所述沖洗臺沿沖洗端面外周間隔朝外凸出有若干凸塊；遠離沖洗臺端面一端的沖洗臺上固連有豎向上延伸的支桿，該傾斜式的晶圓片沖水花籃結(jié)構(gòu)簡單，沖洗效果好。