一種四氟化硅的純化系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201821350154.3 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN208856914U 公開(kāi)（公告）日 2019-05-14
申請(qǐng)公布號(hào) CN208856914U 申請(qǐng)公布日 2019-05-14
分類號(hào) C01B33/107（2006.01）I 分類 無(wú)機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 吳杰; 廖恒易; 曹小林 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江西華特電子化學(xué)品有限公司
代理機(jī)構(gòu) 佛山市禾才知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 江西華特電子化學(xué)品有限公司
地址 332000 江西省九江市永修縣經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)星火工業(yè)園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種四氟化硅的純化系統(tǒng)，包括原料瓶組、冷凝器、第一吸附器、脫輕精餾塔、脫重精餾塔、產(chǎn)品罐、膜壓機(jī)、第二吸附器和產(chǎn)品瓶組；原料瓶組的輸出端連接于冷凝器的輸入端；冷卻器的輸出端連接于第一吸附器的輸入端；第一吸附器的輸出端連接于脫輕精餾塔的輸入端；脫輕精餾塔的輸出端連接于脫重精餾塔的輸入端；脫重精餾塔的輸出端連接于產(chǎn)品罐輸入端；產(chǎn)品罐的輸出端連接于膜壓機(jī)的輸入端；第二吸附器連接于膜壓機(jī)；膜壓機(jī)的輸出端連接于產(chǎn)品瓶組的輸入端。本實(shí)用新型根據(jù)上述內(nèi)容提出一種四氟化硅的純化系統(tǒng)，能夠有效地純化四氟化硅。