一種具有氮氣回收功能的四氟化碳純化系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610953806.1 申請日 -
公開（公告）號 CN106397104B 公開（公告）日 2019-05-07
申請公布號 CN106397104B 申請公布日 2019-05-07
分類號 C07C17/38（2006.01）I; C07C17/383（2006.01）I; C07C19/08（2006.01）I; B01J19/24（2006.01）I 分類 有機化學(xué)〔2〕;
發(fā)明人 廖恒易; 肖三; 傅鑄紅 申請（專利權(quán)）人 江西華特電子化學(xué)品有限公司
代理機構(gòu) 北京品源專利代理有限公司 代理人 廣東華特氣體股份有限公司; 江西華特電子化學(xué)品有限公司
地址 528225 廣東省佛山市南海區(qū)里水鎮(zhèn)和順金逢路
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種具有氮氣回收功能的四氟化碳純化系統(tǒng)，包括氟氣源、反應(yīng)裝置、水洗塔、堿洗塔、精餾塔和氮氣回收裝置；反應(yīng)裝置包括第二除塵器；第二除塵器包括集塵管、第二排污管和第四進氣管；第四進氣管豎向設(shè)置，其底部位于集塵管內(nèi)，其頂部貫穿于集塵管的頂部；第四進氣管的底部設(shè)有氣體分布器，位于氣體分布器的上方設(shè)有氣體擾流板；第二排污管設(shè)于集塵管的底部；氟氣源、反應(yīng)裝置、水洗塔、堿洗塔和精餾塔依次連接，氮氣回收裝置連接于精餾塔和反應(yīng)裝置之間；本發(fā)明根據(jù)上述內(nèi)容提出一種具有氮氣回收功能的四氟化碳純化系統(tǒng)，其能夠穩(wěn)定回收氮氣，除塵效果好，四氟化碳純化效果理想。