一種高純鍺烷的純化生產(chǎn)工藝及其生產(chǎn)系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010760970.7 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN111777040A 公開(公告)日 2020-10-16
申請(qǐng)公布號(hào) CN111777040A 申請(qǐng)公布日 2020-10-16
分類號(hào) C01B6/06(2006.01)I 分類 無機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 曹小林;裴友宏;何西;程緊 申請(qǐng)(專利權(quán))人 江西華特電子化學(xué)品有限公司
代理機(jī)構(gòu) 佛山市禾才知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 江西華特電子化學(xué)品有限公司
地址 332000江西省九江市永修縣經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)星火工業(yè)園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種高純鍺烷的純化生產(chǎn)工藝及其生產(chǎn)系統(tǒng),純化生產(chǎn)工藝包括以下步驟:對(duì)吸附器填裝吸附劑;配置堿性液體通入堿洗器;用氦氣抽空置換多個(gè)系統(tǒng)容器和管道,并活化吸附器;將冷凝器和冷阱預(yù)冷凍;將鍺烷粗品脫除二氧化碳雜質(zhì);鍺烷粗品脫除水分;鍺烷粗品進(jìn)入吸附器中深度脫除雜質(zhì);鍺烷粗品在冷阱中分離鍺烷和氫氣;鍺烷粗品冷阱內(nèi)深度脫除雜質(zhì);收集得到高純鍺烷。純化生產(chǎn)系統(tǒng),包括:鍺烷生產(chǎn)系統(tǒng)和鍺烷純化系統(tǒng);鍺烷純化系統(tǒng)包括:堿洗器、冷凝器、1#吸附器、2#吸附器和冷阱;本方案一種高純鍺烷的純化生產(chǎn)工藝,其方法簡(jiǎn)單和易于操作,能制備高純度5.5N鍺烷,克服了現(xiàn)有技術(shù)中制備高純度鍺烷需要投資大、效率低和純度低等技術(shù)問題。??