一種新型雙層離子篩網(wǎng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202022402971.2 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN213424917U 公開(kāi)（公告）日 2021-06-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN213424917U 申請(qǐng)公布日 2021-06-11
分類號(hào) H01J37/08;H01J37/02 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 張志強(qiáng);張鵬 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海稷以科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 200240 上海市閔行區(qū)東川路555號(hào)戊樓4026室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種新型雙層離子篩網(wǎng)，包括圓筒，圓筒上下兩個(gè)開(kāi)口分別安裝有上層氣體擋板和下層氣體擋板，上層氣體擋板分為中間區(qū)域和邊緣區(qū)域，中間區(qū)域無(wú)開(kāi)孔，邊緣區(qū)域均勻分布有上層通孔；所述下層氣體擋板均勻設(shè)有下層通孔。本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比的優(yōu)點(diǎn)是：本實(shí)用新型提升了灰化設(shè)備去膠速率的均勻性，同時(shí)針對(duì)不同的工藝壓力和氣體流量，可通過(guò)調(diào)節(jié)兩層氣體擋板的間距來(lái)實(shí)現(xiàn)高均勻性的穩(wěn)定性，提高了設(shè)備的工藝能力。