一種可加熱的離子篩網(wǎng)裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022813065.1 申請日 -
公開（公告）號 CN213242487U 公開（公告）日 2021-05-18
申請公布號 CN213242487U 申請公布日 2021-05-18
分類號 H01J37/32;H01L21/67 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 張志強;楊平;王振 申請（專利權(quán)）人 上海稷以科技有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 200240 上海市閔行區(qū)東川路555號戊樓4026室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種可加熱的離子篩網(wǎng)裝置，屬于晶圓設備技術(shù)領域，解決了離子篩網(wǎng)的熱脹冷縮而開裂的問題，其技術(shù)要點是：包括加熱塊、導熱塊和離子篩網(wǎng)，離子篩網(wǎng)中部分布有若干篩網(wǎng)開孔，所述加熱塊通過導熱塊與離子篩網(wǎng)連接，加熱塊內(nèi)部鑲嵌有加熱體，加熱體連接溫度控制器；可根據(jù)工藝狀態(tài)的不同來調(diào)整、節(jié)對離子篩網(wǎng)的加熱狀態(tài)，確保離子篩網(wǎng)表面的溫度在一定范圍內(nèi)波動，可有效的降低離子篩網(wǎng)表面聚合物開裂而對腔體的污染，降低了顆粒對工藝腔體的污染，提高了生產(chǎn)工藝的穩(wěn)定性。