一種平板式PECVD機(jī)臺(tái)送氣管路
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201921970922.X | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN211394624U | 公開（公告）日 | 2020-09-01 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN211394624U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-09-01 |
| 分類號(hào) | C23C16/50(2006.01)I;C23C16/455(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 陳金元 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 理想萬里暉真空裝備（泰興）有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 蘇州國卓知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 理想萬里暉真空裝備（泰興）有限公司 |
| 地址 | 225400江蘇省泰州市泰興高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)環(huán)溪路北側(cè) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種平板式PECVD機(jī)臺(tái)送氣管路，包括管道、插管和環(huán)板，所述管道的內(nèi)部插接有插管，所述插管的外壁套接有環(huán)板，所述環(huán)板的兩側(cè)均安裝有連接構(gòu)件，所述插管的外壁底端安裝有夾緊機(jī)構(gòu)，所述夾緊機(jī)構(gòu)的底端安裝有保溫構(gòu)件。該平板式PECVD機(jī)臺(tái)送氣管路，通過插管、環(huán)板、和送氣管的配合，達(dá)到了可以對(duì)管道進(jìn)行送氣工作，通過支塊、扭力彈簧、撐桿、定塊和卡桿的配合，達(dá)到了可以對(duì)插管與管道進(jìn)行卡接固定，同時(shí)可以取消卡接方便對(duì)插管的拆卸，通過第一夾板、銷軸、第二夾板和螺栓的配合，達(dá)到了可以將保溫構(gòu)件安裝到送氣管的外壁，通過支架、外殼、濾網(wǎng)、橡膠板和保溫棉的配合，達(dá)到了可以對(duì)送氣管進(jìn)行保溫工作。?? |
