化學(xué)浴沉積設(shè)備、送料裝置及其導(dǎo)向裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201821014973.0 申請日 -
公開（公告）號 CN208617978U 公開（公告）日 2019-03-19
申請公布號 CN208617978U 申請公布日 2019-03-19
分類號 C23C18/00（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 蘆國華 申請（專利權(quán)）人 華夏易能投資（浙江）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京律智知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 華夏易能投資（浙江）有限公司
地址 313100 浙江省湖州市長興經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)明珠路1278號長興世貿(mào)大廈A座11層1107-9室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本公開提供了一種化學(xué)浴沉積設(shè)備、送料裝置及其導(dǎo)向裝置，屬于化學(xué)浴沉積鍍膜技術(shù)領(lǐng)域。該導(dǎo)向裝置包括基板，設(shè)有導(dǎo)向通孔；墊塊，設(shè)于基板并與基板滑動配合，且具有延伸出基板邊緣的延伸部；支桿，設(shè)于墊塊，并向遠(yuǎn)離基板的方向延伸；導(dǎo)向輪，可轉(zhuǎn)動地設(shè)于支桿；定位塊，設(shè)于延伸部遠(yuǎn)離導(dǎo)向輪的表面；第一連接件，沿第一方向穿過墊塊和導(dǎo)向通孔，并通過固定件可拆卸地固定，且第一連接件在第二方向上與導(dǎo)向通孔不完全接觸；第二連接件，設(shè)有限位部，第二連接件沿第二方向穿入基板并螺紋連接，且限位部與定位塊卡合；第二方向和第一方向?yàn)椴煌姆较?。該?dǎo)向裝置穩(wěn)定性高，無需高頻維護(hù)和校正。