MEMS閉環(huán)加速度計及其控制方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111239154.2 申請日 -
公開（公告）號 CN114280330A 公開（公告）日 2022-04-05
申請公布號 CN114280330A 申請公布日 2022-04-05
分類號 G01P15/125（2006.01）I;G01P15/08（2006.01）I;G01P1/00（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 郭梅寒;張磊 申請（專利權(quán)）人 慧石（上海）測控科技有限公司
代理機構(gòu) 深圳國新南方知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 李小東
地址 200000上海市青浦區(qū)華紡路99號99弄6幢3樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種MEMS閉環(huán)加速度計及其控制方法，其中，MEMS閉環(huán)加速度計包括：MEMS敏感結(jié)構(gòu)，包括質(zhì)量塊、與質(zhì)量塊連接驅(qū)動電容以及檢測電容；用于將檢測電容的電容信號轉(zhuǎn)換為電壓信號的檢測電路模塊；與檢測電路模塊連接的反饋控制電路模塊；檢測電容與檢測電路模塊之間形成電容檢測回路，驅(qū)動電容、檢測電路模塊與反饋控制電路模塊之間形成電壓反饋控制回路；以及用于切換電容檢測回路以及電壓反饋控制回路的開關(guān)控制模塊，開關(guān)控制模塊包括第一固定電容、與電容檢測回路和電壓反饋控制回路均連接的第一開關(guān)以及與第一固定電容和電容檢測回路均連接的第二開關(guān)。通過上述方式，能夠提高驅(qū)動電容的大小，增大反饋靜電力。