壓力傳感器

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202120179222.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN214702569U 公開（公告）日 2021-11-12
申請(qǐng)公布號(hào) CN214702569U 申請(qǐng)公布日 2021-11-12
分類號(hào) G01L1/18（2006.01）I;B81C1/00（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 周志健;劉洪喜;熊娟 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 慧石（上海）測(cè)控科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳國新南方知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 周雷
地址 200000上海市青浦區(qū)華紡路99號(hào)99弄6幢3樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種壓力傳感器，壓力傳感器包括襯底結(jié)構(gòu)以及頂層結(jié)構(gòu)，頂層結(jié)構(gòu)中，第一硅層用作壓力敏感膜；第二硅層用作壓阻層；第一硅層的正面形成有用作島結(jié)構(gòu)的厚半導(dǎo)體材料層；第一硅層的正面還形成有包覆第一硅層與厚半導(dǎo)體材料層的頂層下絕緣層；襯底結(jié)構(gòu)的上表面向下凹陷形成鍵合槽，厚半導(dǎo)體材料層鍵合于鍵合槽內(nèi)并與鍵合槽形成間隙；第一硅層與襯底結(jié)構(gòu)之間形成用作自檢測(cè)的第一電連接通道；第二硅層與襯底結(jié)構(gòu)之間形成用作壓阻結(jié)構(gòu)的第二電連接通道；第一電連接通道與第二電連接通道絕緣，第二電連接通道與第一硅層絕緣。該壓力傳感器在島結(jié)構(gòu)與襯底結(jié)構(gòu)之間構(gòu)成電容結(jié)構(gòu)，達(dá)到壓力傳感器的在線自校準(zhǔn)的目的。