微機(jī)電結(jié)構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202023337718.X 申請日 -
公開（公告）號 CN215101976U 公開（公告）日 2021-12-10
申請公布號 CN215101976U 申請公布日 2021-12-10
分類號 B81B3/00（2006.01）I;B81C1/00（2006.01）I;G01P15/08（2006.01）I 分類 微觀結(jié)構(gòu)技術(shù)〔7〕;
發(fā)明人 郭梅寒;賀丹;王輝 申請（專利權(quán)）人 慧石（上海）測控科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳國新南方知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 周雷
地址 200000上海市青浦區(qū)華紡路99號99弄6幢3樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供了一種微機(jī)電結(jié)構(gòu)包括：襯底、設(shè)于所述襯底上的質(zhì)量塊、圍設(shè)于所述質(zhì)量塊外的懸臂梁、與所述質(zhì)量塊通過電容連接的第一電極、與所述質(zhì)量塊通過電容連接的第二電極以及部分設(shè)于所述質(zhì)量塊上且另一部分設(shè)于所述襯底上的鎖止組件。在所述第二電極上外加電信號，驅(qū)動所述質(zhì)量塊在垂直第一方向上發(fā)生位移，當(dāng)位移增大至觸發(fā)鎖止組件的兩部分鎖定，使質(zhì)量塊固定，以改變所述質(zhì)量塊在第一方向上的位置進(jìn)而改變所述微機(jī)電結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)。通過以上方式，在外加的第二電極的驅(qū)動下，能夠不可逆的改變質(zhì)量塊在第一方向上運(yùn)動時支撐懸臂梁的總剛度，形成不同性能的微機(jī)電結(jié)構(gòu)。