壓力傳感器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120179411.7 申請日 -
公開（公告）號 CN214702570U 公開（公告）日 2021-11-12
申請公布號 CN214702570U 申請公布日 2021-11-12
分類號 G01L1/18（2006.01）I;B81C1/00（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 周志健;余倫宙;熊娟;趙懌 申請（專利權）人 慧石（上海）測控科技有限公司
代理機構 深圳國新南方知識產權代理有限公司 代理人 周雷
地址 200000上海市青浦區(qū)華紡路99號99弄6幢3樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種壓力傳感器，壓力傳感器包括襯底結構以及頂層結構，頂層結構包括第一硅層、設于第一硅層背面的第一絕緣層、設于第一絕緣層背面的壓阻層、設于第一硅層正面的頂層第一下絕緣層、形成在頂層第一下絕緣層的正面的厚半導體材料層以及包覆厚半導體材料層的頂層第二下絕緣層；第一硅層用作壓力敏感膜；厚半導體材料層用作島結構；壓阻層包括至少一個壓阻；襯底結構的上表面向下凹陷形成鍵合槽，厚半導體材料層鍵合于鍵合槽內并與鍵合槽形成間隙。該壓力傳感器在第一硅層的正面形成用作島結構的厚半導體材料層，達到有效控制壓力敏感膜的厚度一致性以及平面尺寸一致性的目的。