一種紫外光和紫外激光雙光源清洗設備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810861337.X 申請日 -
公開（公告）號 CN108816963A 公開（公告）日 2018-11-16
申請公布號 CN108816963A 申請公布日 2018-11-16
分類號 B08B7/00 分類 清潔;
發(fā)明人 馬躍;方曉東;朱能偉;梁勖;游利兵 申請（專利權）人 中山普宏光電科技有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 510100 廣東省中山市火炬開發(fā)區(qū)會展東路16號數碼大廈1607號房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及紫外光和紫外激光清洗技術領域，為一種紫外光和紫外激光雙光源清洗設備，包括紫外激光光源、反射鏡、光路整形系統、紫外燈光源、光學系統、待清洗物件和工作臺。本發(fā)明通過將紫外光和紫外激光兩種光清洗方式進行有效結合，達到更為理想的光清洗效果，具有無研磨、非接觸、熱效應小和適用于多種材質和污染物的清洗等特點；紫外波長的光源可以有效清洗其他波長無法清洗的特殊材料雜質、污染等；可以根據清洗對象的特征、通過雙光源置換調整清洗光斑的面積、能量等參數，實現高效、節(jié)能、高質量的清洗。