一種直拉法單晶用真空吸盤

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201922022212.0 申請日 -
公開（公告）號 CN210974923U 公開（公告）日 2020-07-10
申請公布號 CN210974923U 申請公布日 2020-07-10
分類號 C30B15/00(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 王琳;郭櫻花;金鑫 申請（專利權(quán)）人 陜西西京電子科技有限公司
代理機構(gòu) 北京興智翔達知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 范萬興
地址 710065陜西省西安市雁塔區(qū)電子城電子西街3號502廠房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種直拉法單晶用真空吸盤，包括真空吸盤主體，所述真空吸盤主體的頂部固定連接有吊環(huán)，所述真空吸盤主體頂部的右側(cè)連通有抽空管，所述真空吸盤主體兩側(cè)的底部均固定連接有吸盤下端定位塊，所述吸盤下端定位塊的內(nèi)側(cè)開設(shè)有密封圈安裝槽，所述吊環(huán)的底部與真空吸盤主體頂部的連接處通過安裝板固定連接。本實用新型通過設(shè)置真空吸盤主體、吊環(huán)、抽空管、吸盤下端定位塊和密封圈安裝槽的相互配合，達到了可以對大小及重量不同石英坩堝進行吊裝的優(yōu)點，解決了石英坩堝在吊裝時不會出現(xiàn)受力不均勻，不會導致石英坩堝破裂，不會造成部分隱裂不會導致漏硅事故，減少經(jīng)濟損失和提高生產(chǎn)安全。??