一種266nm深紫外固體激光器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011571371.7 申請日 -
公開（公告）號 CN112688151A 公開（公告）日 2021-04-20
申請公布號 CN112688151A 申請公布日 2021-04-20
分類號 H01S3/082(2006.01)I;H01S3/081(2006.01)I;H01S3/109(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 肖志松 申請（專利權(quán)）人 羅根激光科技（武漢）有限公司
代理機構(gòu) 重慶信航知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 吳從吾
地址 430205湖北省武漢市江夏區(qū)經(jīng)濟開發(fā)區(qū)藏龍島長咀村長咀光電子工業(yè)園一期8號廠房1-3層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種266nm深紫外固體激光器，包括用于提供激光晶體受激輻射的激光電源、用于對激光器進行散熱的水冷卻系統(tǒng)、1064nm諧振腔、腔內(nèi)倍頻光路和腔外四倍頻光路，1064nm諧振腔包括第一平凸透鏡、第二平凸透鏡、平凸鏡、激光晶體、聲光調(diào)制器和第一反射鏡；腔內(nèi)倍頻光路包括LBO二倍頻晶體和532nm分光鏡；腔外四倍頻光路包括第二發(fā)射鏡、CLBO四倍頻晶體和布魯斯特等腰棱鏡；本發(fā)明一種266nm深紫外固體激光器通過諧振腔內(nèi)分離倍頻的532nm激光；利用色散原理分離四倍頻后產(chǎn)生的266nm激光和剩余的532nm激光，并輸出266nm激光至出光口；光學(xué)模式較好，光?光轉(zhuǎn)換效率達到80％。??