一種單晶爐副室智能清潔裝置及其控制方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111182404.3 申請日 -
公開（公告）號 CN113976559A 公開（公告）日 2022-01-28
申請公布號 CN113976559A 申請公布日 2022-01-28
分類號 B08B9/08（2006.01）I;B08B9/087（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 佘輝;關(guān)春洋;吳亞娟 申請（專利權(quán)）人 江蘇集芯半導(dǎo)體硅材料研究院有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 221000江蘇省徐州市金山橋開發(fā)區(qū)鑫芯路1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種單晶爐副室智能清潔裝置及其控制方法，包括可伸縮支撐部件和儲液裝置，可伸縮支撐部件上部安裝有清洗裝置，儲液裝置通過第一管路與清洗裝置連接，第一管路上連接有抽水泵，還包括車體、控制器和電源，車體內(nèi)底部固定有電機(jī)，電機(jī)輸出軸與轉(zhuǎn)盤底部圓心相連，轉(zhuǎn)盤底部與電機(jī)之間安裝有加強(qiáng)筋，加強(qiáng)筋固定在電機(jī)軸與轉(zhuǎn)盤底部之間；可伸縮支撐部件安裝在轉(zhuǎn)盤上，其頂部安裝有第一距離傳感器，其下部安裝有接水裝置，該接水裝置直徑大于副室內(nèi)徑，第一距離傳感器、電機(jī)、抽水泵、電源均與控制器電連接。本發(fā)明智能化程度高，操作方便、簡單，能夠有效地避免清洗液滴落到地面，清潔更加徹底，且適用于多種直徑的副室。