探針裝置、探針控制設(shè)備及方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111054914.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113777356A 公開（公告）日 2021-12-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN113777356A 申請(qǐng)公布日 2021-12-10
分類號(hào) G01Q70/00（2010.01）I;G01Q10/00（2010.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 周向前;伊沃·朗格諾 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 百及納米技術(shù)（上海）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海上谷知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 蔡繼清
地址 201807上海市嘉定區(qū)工業(yè)區(qū)葉城路925號(hào)B區(qū)4幢JT22541室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明實(shí)施例提供了一種探針裝置、探針控制設(shè)備及方法，涉及探針控制技術(shù)領(lǐng)域。探針裝置，包括：多個(gè)探針、編解碼裝置；編解碼裝置用于對(duì)接收到的控制處理系統(tǒng)發(fā)送的探針控制信號(hào)進(jìn)行解碼，并將解碼后的探針控制信號(hào)分別發(fā)送到對(duì)應(yīng)的探針；探針用于根據(jù)接收到的探針控制信號(hào)對(duì)待操作表面進(jìn)行操作處理，并將得到探針數(shù)據(jù)信號(hào)發(fā)送到編解碼裝置；編解碼裝置還用于對(duì)各探針的探針數(shù)據(jù)信號(hào)進(jìn)行編碼，并將編碼后的各探針數(shù)據(jù)信號(hào)發(fā)送到控制處理系統(tǒng)。本發(fā)明中，可以利用編解碼裝置在探針裝置與控制處理系統(tǒng)之間采用總線進(jìn)行數(shù)據(jù)信號(hào)的高速傳輸，使得多探針的探針裝置能夠進(jìn)行高速運(yùn)行模式，有助于提升探針裝置的測(cè)量和光刻速度。