掩膜裝置、顯示器件成膜設備及顯示器件

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121371216.0 申請日 -
公開（公告）號 CN216107158U 公開（公告）日 2022-03-22
申請公布號 CN216107158U 申請公布日 2022-03-22
分類號 C23C14/04（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 陳新亮;李楚;苑立閣 申請（專利權）人 廣東聚華印刷顯示技術有限公司
代理機構 深圳市世紀恒程知識產(chǎn)權代理事務所 代理人 關向蘭
地址 510000廣東省廣州市黃埔區(qū)光譜中路11號云升科學園1號樓1F
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種掩膜裝置、顯示器件成膜設備及顯示器件。所述掩膜裝置包括主遮體及遮蔽框。所述遮蔽框與所述主遮體相對設置；所述主遮體與所述遮蔽框之間設有彈性件，所述彈性件的一端連接于所述主遮體，另一端連接于所述遮蔽框。通過在主遮體與遮蔽框之間設置彈性件，使得遮蔽框與主遮體之間具有一定的緩沖，在對發(fā)光顯示面板進行封裝時，發(fā)光顯示面板朝向遮蔽框運動，抵接在遮蔽框時，發(fā)光顯示面板可帶動遮蔽框一起緩慢向主遮體方向移動，防止發(fā)光顯示面板與遮蔽框產(chǎn)生直接剛性碰撞，進而保護了發(fā)光顯示面板的完整性。