一種高靈敏度的硅麥克風(fēng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201721134921.2 申請日 -
公開（公告）號 CN207283808U 公開（公告）日 2018-04-27
申請公布號 CN207283808U 申請公布日 2018-04-27
分類號 H04R19/04 分類 電通信技術(shù);
發(fā)明人 羅旭輝 申請（專利權(quán)）人 四川瑞昊微電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市深軟翰琪知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 徐翀
地址 518000 廣東省深圳市龍華新區(qū)龍華街道清祥路清湖工業(yè)園寶能科技園9棟A座6E
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種高靈敏度的硅麥克風(fēng)，包括：PCB，安裝在所述PCB上的第一殼體，以及位于所述第一殼體內(nèi)、貼裝在所述PCB上的MEMS芯片和IC芯片以及第二殼體；所述第一殼體內(nèi)形成有第一腔體，所述MEMS芯片和所述PCB之間形成有芯片腔體，所述第二殼體內(nèi)形成有第二腔體，所述第二腔體和所述芯片腔體通過所述PCB內(nèi)部開設(shè)的導(dǎo)聲通道連通，所述第一殼體上開設(shè)有聲學(xué)孔。本實用新型實施例通過增設(shè)第二外殼增大了后腔，可以提高硅麥克風(fēng)的靈敏度，還可以改善硅麥克風(fēng)的高頻頻率響應(yīng)。