一種MEMS振動傳感器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201921693268.2 申請日 -
公開（公告）號 CN211240080U 公開（公告）日 2020-08-11
申請公布號 CN211240080U 申請公布日 2020-08-11
分類號 H04R19/04(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 羅旭輝 申請（專利權）人 四川瑞昊微電子科技有限公司
代理機構 深圳市深軟翰琪知識產權代理有限公司 代理人 徐翀
地址 628000四川省廣元市廣元經濟技術開發(fā)區(qū)石龍工業(yè)園（宏天電子產業(yè)園）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種MEMS振動傳感器，包括PCB和第一殼體，PCB和第一殼體圍合成容納空間，第一殼體上開設有進聲孔，容納空間內設有安裝在PCB上的MEMS芯片和ASIC芯片；還包括設在PCB上的第二殼體，第二殼體將第一殼體包覆在內，第二殼體和第一殼體之間構成振動空間，進聲孔連通容納空間和振動空間；振動空間內設有固定在第二殼體底部的振動單元，振動單元包括：固定在第二殼體底部的繃膜環(huán)，張緊設置在繃膜環(huán)上的振動膜，以及設置在振動膜上的振子。本實用新型的MEMS振動傳感器可以拾取振動信號轉化為電信號，因此可作為骨導傳聲器使用；并且，PCB和第二殼體采用全密封結構，具備高級別的防水、防潮、防塵性能。??