一種MEMS振動(dòng)傳感器
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN201921693268.2 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN211240080U | 公開（公告）日 | 2020-08-11 |
| 申請公布號(hào) | CN211240080U | 申請公布日 | 2020-08-11 |
| 分類號(hào) | H04R19/04(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 羅旭輝 | 申請（專利權(quán)）人 | 四川瑞昊微電子科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 深圳市深軟翰琪知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 徐翀 |
| 地址 | 628000四川省廣元市廣元經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)石龍工業(yè)園（宏天電子產(chǎn)業(yè)園） | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種MEMS振動(dòng)傳感器，包括PCB和第一殼體，PCB和第一殼體圍合成容納空間，第一殼體上開設(shè)有進(jìn)聲孔，容納空間內(nèi)設(shè)有安裝在PCB上的MEMS芯片和ASIC芯片；還包括設(shè)在PCB上的第二殼體，第二殼體將第一殼體包覆在內(nèi)，第二殼體和第一殼體之間構(gòu)成振動(dòng)空間，進(jìn)聲孔連通容納空間和振動(dòng)空間；振動(dòng)空間內(nèi)設(shè)有固定在第二殼體底部的振動(dòng)單元，振動(dòng)單元包括：固定在第二殼體底部的繃膜環(huán)，張緊設(shè)置在繃膜環(huán)上的振動(dòng)膜，以及設(shè)置在振動(dòng)膜上的振子。本實(shí)用新型的MEMS振動(dòng)傳感器可以拾取振動(dòng)信號(hào)轉(zhuǎn)化為電信號(hào)，因此可作為骨導(dǎo)傳聲器使用；并且，PCB和第二殼體采用全密封結(jié)構(gòu)，具備高級(jí)別的防水、防潮、防塵性能。?? |
