一種高SNR的硅麥克風(fēng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201721135190.3 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN207269268U 公開(kāi)(公告)日 2018-04-24
申請(qǐng)公布號(hào) CN207269268U 申請(qǐng)公布日 2018-04-24
分類(lèi)號(hào) H04R19/04 分類(lèi) 電通信技術(shù);
發(fā)明人 羅旭輝 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人 四川瑞昊微電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市深軟翰琪知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 徐翀
地址 518000 廣東省深圳市龍華新區(qū)龍華街道清祥路清湖工業(yè)園寶能科技園9棟A座6E
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種高SNR的硅麥克風(fēng),包括:PCB,并列安裝在所述PCB上的第一殼體和第二殼體,以及,貼裝在所述PCB上且位于所述第一殼體內(nèi)的MEMS芯片和IC芯片;所述第一殼體內(nèi)形成有第一腔體,所述MEMS芯片和所述PCB之間形成有芯片腔體,所述第二殼體內(nèi)形成有第二腔體,所述第二腔體和所述芯片腔體通過(guò)所述PCB內(nèi)部開(kāi)設(shè)的導(dǎo)聲通道連通,所述第二殼體上開(kāi)設(shè)有聲學(xué)孔。本實(shí)用新型實(shí)施例具有以下優(yōu)點(diǎn):1、可以提高硅麥克風(fēng)的靈敏度和SNR,還可以改善硅麥克風(fēng)的高頻頻率響應(yīng);2、避免了光噪聲對(duì)MEMS的不良影響;3、可以提高硅麥克風(fēng)的環(huán)境適應(yīng)性。