混合光源聚焦增強(qiáng)等離子檢測(cè)系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201410096279.8 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN104931462A 公開(公告)日 2015-09-23
申請(qǐng)公布號(hào) CN104931462A 申請(qǐng)公布日 2015-09-23
分類號(hào) G01N21/63(2006.01)I 分類 測(cè)量;測(cè)試;
發(fā)明人 劉明;郭闖 申請(qǐng)(專利權(quán))人 以恒科技(北京)有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 100026 北京市朝陽(yáng)區(qū)朝陽(yáng)北路199號(hào)摩碼大廈1118室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種混合光源聚焦增強(qiáng)等離子檢測(cè)系統(tǒng),將聚焦補(bǔ)光與激光等離子體激發(fā)檢測(cè)結(jié)合使用,在元素和物質(zhì)成分含量檢測(cè)方便有著獨(dú)特優(yōu)勢(shì)。本發(fā)明的混合光源聚焦增強(qiáng)等離子檢測(cè)系統(tǒng)為一可單獨(dú)完成元素和物質(zhì)成分含量檢測(cè)系統(tǒng),該檢測(cè)系統(tǒng)主要由混合光源模塊、光學(xué)聚焦模塊、樣品模塊、控制模塊、探測(cè)模塊、邏輯模塊和顯示模塊組成;邏輯控制模塊連接控制模塊、探測(cè)模塊和顯示模塊,控制模塊實(shí)現(xiàn)對(duì)混合光源模塊與探測(cè)模塊操控,混合光源模塊通過光學(xué)聚焦模塊完成光對(duì)樣品模塊工作,探測(cè)模塊采集樣品模塊信息傳送給邏輯模塊。本發(fā)明的等離子體檢測(cè)系統(tǒng)具有比傳統(tǒng)更好的探測(cè)精度和更低的探測(cè)下限,可以實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品的零預(yù)處理。