一種用于芯片加工的具有角度調(diào)節(jié)功能的拾取設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910240584.2 申請日 -
公開（公告）號 CN109860093B 公開（公告）日 2021-08-17
申請公布號 CN109860093B 申請公布日 2021-08-17
分類號 H01L21/683 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 謝開;何桂華 申請（專利權(quán)）人 深圳市奈士迪技術(shù)研發(fā)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳峰誠志合知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 趙愛婷
地址 518000 廣東省深圳市寶安區(qū)航城街道三圍社區(qū)航空路32號同富裕工業(yè)園B棟1層、2層、3層、5層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種用于芯片加工的具有角度調(diào)節(jié)功能的拾取設(shè)備，包括吸嘴、固定管、連接管、調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)和控制機(jī)構(gòu)，所述固定管和連接管均同軸設(shè)置，所述固定管的外徑小于連接管的內(nèi)徑，所述吸嘴安裝在固定管的一端，所述固定管的另一端通過調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)與連接管連接，所述控制機(jī)構(gòu)設(shè)置在連接管內(nèi)，所述控制機(jī)構(gòu)包括密封盤、控制組件和兩個限位塊，該用于芯片加工的具有角度調(diào)節(jié)功能的拾取設(shè)備通過調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)了調(diào)節(jié)吸嘴角度的功能，避免吸嘴角度過大而使芯片局部壓強(qiáng)過大而損壞，不僅如此，還通過控制機(jī)構(gòu)控制吸嘴吸附芯片的吸力，避免吸嘴吸力多大而導(dǎo)致芯片損壞。