一種單晶硅提煉生產(chǎn)工藝及其精煉裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910919061.0 申請日 -
公開（公告）號 CN110528074A 公開（公告）日 2019-12-03
申請公布號 CN110528074A 申請公布日 2019-12-03
分類號 C30B29/06;C30B15/04;C30B15/20 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 張大鵬 申請（專利權(quán)）人 南通晶耀新能源有限公司
代理機(jī)構(gòu) 合肥律眾知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 南通晶耀新能源有限公司
地址 226000 江蘇省南通市海安市海安鎮(zhèn)黃海西路188號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于單晶硅提煉技術(shù)領(lǐng)域，尤其為一種單晶硅提煉生產(chǎn)工藝及其精煉裝置，包括底座，底座頂端的中部固定安裝有爐體，底座的邊側(cè)垂直固定有四根導(dǎo)向柱，四根導(dǎo)向柱的中部活動嵌合有升降板，升降板的中部固定扣接有爐蓋，爐蓋的頂端垂直連通有拉伸管道，拉伸管道的內(nèi)壁活動嵌合有石墨活塞，石墨活塞的底端垂直連接有籽晶棒，石墨活塞的頂端垂直固定連接有滾珠絲桿。本發(fā)明設(shè)置伺服電機(jī)通過變速箱帶動絲桿螺母轉(zhuǎn)動，進(jìn)而螺合帶動滾珠絲桿和石墨活塞沿著拉伸管道向下移動，使得籽晶棒接觸硅熔體中，能夠精確的控制轉(zhuǎn)速，因此能夠很好的保證縮頸生長工序、放肩生長工序、等徑生長工序和尾部生長工序，以及精確的控制單晶硅棒料的生成速度。