硅片切削液中的碳化硅、硅微粉和聚乙二醇的回收方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201210011722.8 申請日 -
公開（公告）號 CN103288086B 公開（公告）日 2015-06-03
申請公布號 CN103288086B 申請公布日 2015-06-03
分類號 C01B31/36(2006.01)I;C01B33/021(2006.01)I;C08G65/34(2006.01)I 分類 無機化學;
發(fā)明人 王允佳;楊志敏;李孝文 申請（專利權(quán)）人 佳明新材料科技有限公司
代理機構(gòu) 上海海頌知識產(chǎn)權(quán)代理事務所（普通合伙） 代理人 佳明新材料科技有限公司
地址 212211 江蘇省鎮(zhèn)江市揚中經(jīng)濟開發(fā)區(qū)揚中大道段66號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種硅片切削液中的碳化硅、硅微粉和聚乙二醇的回收方法，通過將切削液攪拌、過濾、分離出固體和液體兩種組分，將固體組分加水攪拌均勻、過濾，得到液體和固體；固體水洗過濾后得到的固體，再經(jīng)酸洗，烘干，得到硅粉；固體分離成液相和固相，固相漂洗后，經(jīng)堿洗、酸洗、烘干、篩選得到碳化硅成品；液體組分分離出固相和液相，液相加入脫色劑、助濾劑，經(jīng)離子交換并蒸餾，得到聚乙二醇產(chǎn)品，該方法操作方便，回收過程，工藝清潔、安全，對環(huán)境無污，且碳化硅的回收率可達到80％以上，聚乙二醇的回收率可達到90％以上，硅的回收率可達到75％以上。