硅片切削液中的碳化硅、硅微粉和聚乙二醇的回收方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201210011722.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN103288086B 公開（公告）日 2015-06-03
申請(qǐng)公布號(hào) CN103288086B 申請(qǐng)公布日 2015-06-03
分類號(hào) C01B31/36(2006.01)I;C01B33/021(2006.01)I;C08G65/34(2006.01)I 分類 無(wú)機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 王允佳;楊志敏;李孝文 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 佳明新材料科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海海頌知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 佳明新材料科技有限公司
地址 212211 江蘇省鎮(zhèn)江市揚(yáng)中經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)揚(yáng)中大道段66號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種硅片切削液中的碳化硅、硅微粉和聚乙二醇的回收方法，通過(guò)將切削液攪拌、過(guò)濾、分離出固體和液體兩種組分，將固體組分加水?dāng)嚢杈鶆?、過(guò)濾，得到液體和固體；固體水洗過(guò)濾后得到的固體，再經(jīng)酸洗，烘干，得到硅粉；固體分離成液相和固相，固相漂洗后，經(jīng)堿洗、酸洗、烘干、篩選得到碳化硅成品；液體組分分離出固相和液相，液相加入脫色劑、助濾劑，經(jīng)離子交換并蒸餾，得到聚乙二醇產(chǎn)品，該方法操作方便，回收過(guò)程，工藝清潔、安全，對(duì)環(huán)境無(wú)污，且碳化硅的回收率可達(dá)到80％以上，聚乙二醇的回收率可達(dá)到90％以上，硅的回收率可達(dá)到75％以上。