掩膜板周轉(zhuǎn)裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201920432829.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN209873080U | 公開(kāi)（公告）日 | 2019-12-31 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN209873080U | 申請(qǐng)公布日 | 2019-12-31 |
| 分類(lèi)號(hào) | C23C14/24（2006.01）; C23C14/04（2006.01）; C23C14/12（2006.01） | 分類(lèi) | 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 唐軍 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 安徽浚潁光電有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 廣州市南鋒專(zhuān)利事務(wù)所有限公司 | 代理人 | 唐軍;安徽浚潁光電有限公司 |
| 地址 | 518000 廣東省深圳市坪山區(qū)碧嶺街道沙湖社區(qū)錦龍大道南2-10號(hào)1棟3樓、2棟2樓 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種掩膜板周轉(zhuǎn)裝置，用于裝載并轉(zhuǎn)運(yùn)掩膜板，包括箱體及定位保持件，箱體具有收容腔及與所述收容腔相通的裝載口，所述裝載口適于所述掩膜板裝入所述收容腔；定位保持件設(shè)在所述收容腔內(nèi)，以將所述掩膜板豎向固定并保持在所述收容腔內(nèi)。根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例提供的掩膜板周轉(zhuǎn)裝置，可以將掩膜板通過(guò)定位保持件豎向固定并保持在收容腔內(nèi)，由于掩膜板豎向布置，所以，在運(yùn)輸或轉(zhuǎn)運(yùn)過(guò)程，可以防止由于顛簸或其他壓力導(dǎo)致掩膜基板的中心下沉，確保掩膜基板的精度不受影響，同時(shí)，掩膜板位于箱體內(nèi)，利用箱體對(duì)掩膜板起到隔離保護(hù)作用，防止在轉(zhuǎn)運(yùn)過(guò)程中收到?jīng)_擊或撞擊造成損傷。 |
