掩膜基板及具有它的掩膜板

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201920426839.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN209873079U 公開（公告）日 2019-12-31
申請(qǐng)公布號(hào) CN209873079U 申請(qǐng)公布日 2019-12-31
分類號(hào) C23C14/04（2006.01）; C23C14/12（2006.01）; C23C14/24（2006.01） 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 唐軍 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 安徽浚潁光電有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州市南鋒專利事務(wù)所有限公司 代理人 唐軍;安徽浚潁光電有限公司
地址 518000 廣東省深圳市坪山區(qū)碧嶺街道沙湖社區(qū)錦龍大道南2-10號(hào)1棟3樓、2棟2樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種掩膜基板及具有它的掩膜板，其中，該掩膜基板包括基板本體，基板本體具有蒸鍍面、與蒸鍍面相背的玻璃面及自蒸鍍面貫穿至玻璃面的多個(gè)蒸鍍孔；蒸鍍面被構(gòu)造成經(jīng)粗化處理后具有預(yù)定粗糙度的粗糙面。根據(jù)本實(shí)用新型提供的掩膜基板及具有它的掩膜板，蒸鍍面被構(gòu)造成經(jīng)粗化處理后具有預(yù)定粗糙度的粗糙面，如此，一方面，有機(jī)材料能夠掛在該粗糙面上，不易掉落至下方的蒸發(fā)源中，可以確保蒸發(fā)源的潔凈度，減少有機(jī)材料的浪費(fèi)，降低成材料成本。另一方面，可以提高掩膜板單次使用時(shí)間，進(jìn)而提高生產(chǎn)效率。再一方面，掩膜板單次使用時(shí)間越長(zhǎng)，則可以減少掩膜板清洗的頻率，進(jìn)而延長(zhǎng)掩膜板的使用壽命，進(jìn)一步降低生產(chǎn)成本。