蒸發(fā)鍍銀用鎢坩堝的高頻加熱裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110923151.4 申請日 -
公開（公告）號 CN113621919A 公開（公告）日 2021-11-09
申請公布號 CN113621919A 申請公布日 2021-11-09
分類號 C23C14/26（2006.01）I;C23C14/14（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 周國山;蔡淵;迮建軍 申請（專利權(quán)）人 東部超導(dǎo)科技（蘇州）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州創(chuàng)元專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 范晴;顧天樂
地址 215000江蘇省蘇州市吳江區(qū)江陵街道大兢路518號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種蒸發(fā)鍍銀用鎢坩堝的高頻加熱裝置，屬于超導(dǎo)材料加工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。該蒸發(fā)鍍銀用鎢坩堝的高頻加熱裝置包括真空腔室，真空腔室中固定有阻熱坩堝支架，阻熱坩堝支架上設(shè)有蒸發(fā)鍍銀用鎢坩堝；對應(yīng)蒸發(fā)鍍銀用鎢坩堝，設(shè)有螺旋加熱銅管；螺旋加熱銅管用于對蒸發(fā)鍍銀用鎢坩堝進(jìn)行非接觸式高頻加熱。本發(fā)明能夠?qū)崿F(xiàn)蒸發(fā)鍍銀用鎢坩堝的感應(yīng)加熱，避免采用高能加熱方式加熱造成蒸發(fā)鍍銀設(shè)備出現(xiàn)頻繁高壓報警停機(jī)的問題。