一種MOCVD法制備高溫超導(dǎo)帶材的在線溫度監(jiān)測(cè)系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202120795503.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN214793495U 公開（公告）日 2021-11-19
申請(qǐng)公布號(hào) CN214793495U 申請(qǐng)公布日 2021-11-19
分類號(hào) G01J5/00（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 章鵬;張愛兵;王延凱;蔡淵;袁文 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 東部超導(dǎo)科技（蘇州）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州創(chuàng)元專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 范晴;章榮
地址 215000江蘇省蘇州市吳江經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)龐金路1801號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種MOCVD法制備高溫超導(dǎo)帶材的在線溫度監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，其涉及高溫超導(dǎo)帶材制備技術(shù)領(lǐng)域。其技術(shù)方案要點(diǎn)包括設(shè)備主體，設(shè)備主體上設(shè)置有法蘭接口；設(shè)置于法蘭接口上的透光板；設(shè)置于設(shè)備主體內(nèi)壁的擋板，擋板上設(shè)置有透光口，且所述透光板、法蘭接口以及擋板之間形成透光腔室；吹氣組件，使所述透光腔室內(nèi)保持正壓；設(shè)置于所述設(shè)備主體外部的紅外測(cè)溫組件，所述紅外測(cè)溫組件包括紅外測(cè)溫儀探頭；以及，設(shè)置于所述設(shè)備主體內(nèi)部的噴淋器，所述噴淋器上開設(shè)有通孔；其中，所述紅外測(cè)溫儀探頭與所述透光板、透光口以及通孔相對(duì)。本實(shí)用新型可以無需考慮嚴(yán)苛的測(cè)量環(huán)境，而且安裝簡(jiǎn)易、成本低廉，且能夠保證測(cè)溫的準(zhǔn)確性。