MOCVD設(shè)備尾氣冷卻裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110923152.9 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113606966A 公開(kāi)（公告）日 2021-11-05
申請(qǐng)公布號(hào) CN113606966A 申請(qǐng)公布日 2021-11-05
分類號(hào) F28D7/10（2006.01）I;F28F1/36（2006.01）I;C23C16/44（2006.01）I 分類 一般熱交換;
發(fā)明人 周國(guó)山;蔡淵;迮建軍 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 東部超導(dǎo)科技（蘇州）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州創(chuàng)元專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 范晴;顧天樂(lè)
地址 215000江蘇省蘇州市吳江區(qū)江陵街道大兢路518號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種MOCVD設(shè)備尾氣冷卻裝置，屬于高溫超導(dǎo)材料加工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。該MOCVD設(shè)備尾氣冷卻裝置包括兩端開(kāi)口的冷卻筒；冷卻筒中沿軸向設(shè)有內(nèi)管，內(nèi)管上固定有渦旋葉片；內(nèi)進(jìn)液管和內(nèi)出液管穿設(shè)在冷卻筒筒壁上并與冷卻筒筒壁密封連接；冷卻筒在筒壁外側(cè)套設(shè)有外管，外管上設(shè)有外進(jìn)液管和外出液管，外管與冷卻筒之間形成夾層，外進(jìn)液管和外出液管分別與夾層連通。本發(fā)明通過(guò)增設(shè)冷卻裝置，降低運(yùn)輸氣體進(jìn)泵前的初始溫度，從而避免出現(xiàn)工藝尾氣焦化現(xiàn)象。