一種新式連續(xù)加料微下拉法裝置及工藝
基本信息
申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202010773356.4 | 申請(qǐng)日 | - |
公開(公告)號(hào) | CN111793820A | 公開(公告)日 | 2021-08-20 |
申請(qǐng)公布號(hào) | CN111793820A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-08-20 |
分類號(hào) | C30B15/08;C30B15/02;C30B15/14;C30B15/10;C30B15/20;C30B29/20 | 分類 | 晶體生長〔3〕; |
發(fā)明人 | 付善任;張紅;夏倩倩 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人 | 上海嵐玥新材料科技有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | 北京挺立專利事務(wù)所(普通合伙) | 代理人 | 田黎絨 |
地址 | 201400 上海市奉賢區(qū)奉浦大道1599號(hào)M棟 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明公開了一種新式連續(xù)加料微下拉法裝置及工藝,包括第一供料機(jī)構(gòu)、第二供料機(jī)構(gòu)、蓋板、觀察視孔和坩堝,設(shè)置第一供料機(jī)構(gòu)和第二供料機(jī)構(gòu)用于實(shí)現(xiàn)對(duì)坩堝兩側(cè)的同時(shí)供料,避免單側(cè)供料引起的熱場(chǎng)左右溫度不對(duì)稱,從而加快了原料的熔化速度,同時(shí)進(jìn)一步解決了一側(cè)供料易造成原料堆積的問題,通過蓋板上沿圓周方向等距離開設(shè)有八個(gè)進(jìn)料開口,從而保證原料熔體均勻的從坩堝四周流入坩堝底部,設(shè)置觀察視孔用于方便操作人員對(duì)內(nèi)部情況進(jìn)行側(cè)保溫層內(nèi)部情況進(jìn)行觀察,通過設(shè)計(jì)連續(xù)加料裝置,合理的坩堝結(jié)構(gòu),及環(huán)形分布多進(jìn)料開口,并結(jié)合科學(xué)的供料工藝,使之與傳統(tǒng)的微下拉法相互結(jié)合,打破原有技術(shù)瓶頸,具有極好的市場(chǎng)規(guī)?;瘧?yīng)用前景。 |
