一種連續(xù)加料微下拉法裝置及工藝
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN202010773356.4 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN111793820B | 公開(公告)日 | 2021-08-20 |
申請公布號 | CN111793820B | 申請公布日 | 2021-08-20 |
分類號 | C30B15/08;C30B15/02;C30B15/14;C30B15/10;C30B15/20;C30B29/20 | 分類 | 晶體生長〔3〕; |
發(fā)明人 | 付善任;張紅;夏倩倩 | 申請(專利權)人 | 上海嵐玥新材料科技有限公司 |
代理機構 | 北京挺立專利事務所(普通合伙) | 代理人 | 田黎絨 |
地址 | 201400 上海市奉賢區(qū)奉浦大道1599號M棟 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明公開了一種新式連續(xù)加料微下拉法裝置及工藝,包括第一供料機構、第二供料機構、蓋板、觀察視孔和坩堝,設置第一供料機構和第二供料機構用于實現對坩堝兩側的同時供料,避免單側供料引起的熱場左右溫度不對稱,從而加快了原料的熔化速度,同時進一步解決了一側供料易造成原料堆積的問題,通過蓋板上沿圓周方向等距離開設有八個進料開口,從而保證原料熔體均勻的從坩堝四周流入坩堝底部,設置觀察視孔用于方便操作人員對內部情況進行側保溫層內部情況進行觀察,通過設計連續(xù)加料裝置,合理的坩堝結構,及環(huán)形分布多進料開口,并結合科學的供料工藝,使之與傳統(tǒng)的微下拉法相互結合,打破原有技術瓶頸,具有極好的市場規(guī)?;瘧们熬?。 |
