一種新式熱解石墨氣相沉積裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202021839825.X | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN212505058U | 公開（公告）日 | 2021-02-09 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN212505058U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-02-09 |
| 分類號(hào) | C23C16/44(2006.01)I; | 分類 | 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 付善任;張紅;夏倩倩 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 上海嵐玥新材料科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京挺立專利事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 田黎絨 |
| 地址 | 201400上海市奉賢區(qū)奉浦大道1599號(hào)M棟 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種新式熱解石墨氣相沉積裝置，包括支撐機(jī)構(gòu)、進(jìn)氣機(jī)構(gòu)、罩殼和石墨電阻發(fā)熱體。該新式熱解石墨氣相沉積裝置，將碳素件擺放在支撐機(jī)構(gòu)的載物托盤上，然后控制第二氣缸帶動(dòng)支撐臺(tái)面上升，從而使得載物托盤帶動(dòng)碳素件上升到工作時(shí)的位置；打開真空系統(tǒng)閥門，通過真空泵將罩殼內(nèi)的氣壓抽真空,開始加熱，控制石墨電阻發(fā)熱體發(fā)熱體開始升溫，恒溫結(jié)束后進(jìn)氣管及石墨隔擋板下降到發(fā)熱體二分之一位置處；此時(shí)由進(jìn)氣管供給碳?xì)錃怏w原料，當(dāng)熱解石墨氣象沉積10?30分鐘之后，控制電機(jī)開始工作，電機(jī)帶動(dòng)載物托盤以十分鐘每轉(zhuǎn)的速度；當(dāng)氣相沉積過程結(jié)束后，進(jìn)氣管及石墨隔擋板上升回到初始位置后，開始通過水冷排管降溫。?? |
