一種帶有載氣加熱裝置的多晶鑄錠爐

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201710893617.4 申請日 -
公開（公告）號 CN107815731B 公開（公告）日 2021-08-13
申請公布號 CN107815731B 申請公布日 2021-08-13
分類號 C30B28/06 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 陳鴿;其他發(fā)明人請求不公開姓名 申請（專利權(quán)）人 上海嵐玥新材料科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 新余市渝星知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 張瑩瑩
地址 201400 上海市奉賢區(qū)奉浦大道1599號M幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種帶有載氣加熱裝置的多晶鑄錠爐，包括裝配于鑄錠爐內(nèi)用于向爐內(nèi)輸送載氣的引流裝置，還包括用于加熱載氣的加熱裝置，所述加熱裝置的輸出端和引流裝置的輸入端相連通，輸入端和載氣的輸氣管連通。冷載氣先經(jīng)加熱裝置加熱后形成溫度較高的熱載氣，該熱載氣經(jīng)引流裝置吹射坩堝內(nèi)的硅料；減少吹射區(qū)域液態(tài)硅的過冷度，降低甚至消除了液態(tài)硅中由載氣所促進(jìn)的雜質(zhì)形核以及雜質(zhì)核生長。