一種硅納米線芯片及基于硅納米線芯片的質(zhì)譜檢測(cè)方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201910579528.1 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN110203876B 公開（公告）日 2022-02-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN110203876B 申請(qǐng)公布日 2022-02-18
分類號(hào) B81B1/00（2006.01）I;B81B7/04（2006.01）I;B81C1/00（2006.01）I;G01N27/62（2021.01）I 分類 微觀結(jié)構(gòu)技術(shù)〔7〕;
發(fā)明人 鄔建敏;陳曉明 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 杭州匯健科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州裕陽(yáng)聯(lián)合專利代理有限公司 代理人 金方瑋
地址 310000 浙江省杭州市濱江區(qū)長(zhǎng)河街道長(zhǎng)河路475號(hào)3幢9層901室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種硅納米線芯片及基于硅納米線芯片的質(zhì)譜檢測(cè)方法，檢測(cè)方法，包括如下步驟：步驟一，制造硅納米線芯片；將單晶硅片經(jīng)表面洗滌預(yù)處理后經(jīng)過金屬輔助刻蝕、堿后刻蝕得到具有尖端的硅納米線芯片；對(duì)硅納米線芯片進(jìn)行表面化學(xué)或納米材料修飾；步驟二，硅納米線芯片質(zhì)譜性能評(píng)估；步驟三，頂端接觸取樣及原位離子化質(zhì)譜檢測(cè)；本發(fā)明充分利用硅納米線芯片的納米結(jié)構(gòu)特性和半導(dǎo)體特性，將接觸式萃取轉(zhuǎn)印和免基質(zhì)質(zhì)譜檢測(cè)集合于一體，大大簡(jiǎn)化了復(fù)雜樣本的采集、預(yù)處理和檢測(cè)過程；本發(fā)明制造出的硅納米線芯片能夠同時(shí)具備吸附、萃取功能與質(zhì)譜檢測(cè)功能，還能保留有空間異質(zhì)性的樣本的原位信息。