一種含Notch晶圓運(yùn)用于精雕機(jī)的定位載臺(tái)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202122083773.9 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN216413035U 公開(kāi)（公告）日 2022-04-29
申請(qǐng)公布號(hào) CN216413035U 申請(qǐng)公布日 2022-04-29
分類(lèi)號(hào) H01L21/68（2006.01）I;H01L21/683（2006.01）I 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 黃建烽;周志豪;王燕紅;林宏超;莫康;劉建飛 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 福建晶安光電有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京金咨知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 尤樟華
地址 362411福建省泉州市安溪縣湖頭鎮(zhèn)橫山村光電產(chǎn)業(yè)園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供一種含Notch晶圓運(yùn)用于精雕機(jī)的定位載臺(tái)，所述定位載臺(tái)包括真空吸附載盤(pán)和位于所述真空吸附載盤(pán)之上的晶圓載臺(tái)；其中，所述晶圓載臺(tái)上具有向下凹陷的晶圓放置區(qū)，所述晶圓放置區(qū)具有多個(gè)真空氣孔，以用于真空吸附固定晶圓。本實(shí)用新型提供了一種簡(jiǎn)易式的整合Notch晶圓提高定位精度的載臺(tái)，其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，可有效地解決Notch晶圓的缺口倒角問(wèn)題，提升Notch口研削后的精度，進(jìn)而減小因外觀不良的損失。