一種藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)工藝

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111030051.5 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN113699585B 公開(公告)日 2022-04-29
申請(qǐng)公布號(hào) CN113699585B 申請(qǐng)公布日 2022-04-29
分類號(hào) C30B17/00(2006.01)I;C30B29/20(2006.01)I 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 余劍云;吳鋒波;鄭家金;王進(jìn)學(xué) 申請(qǐng)(專利權(quán))人 福建晶安光電有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 362411福建省泉州市安溪縣湖頭鎮(zhèn)橫山村光電產(chǎn)業(yè)園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)工藝,通過在加熱階段功率約20~30kw時(shí)進(jìn)行恒溫,排除晶體生長(zhǎng)爐內(nèi)的水汽,減少爐內(nèi)氧氣含量,減少爐內(nèi)熱場(chǎng)氧化,降低雜質(zhì)的生成,降低浮島形成概率;通過在加熱階段恒溫后通入惰性氣體至1.0個(gè)大氣壓以上,更能將通過恒溫后未能排除干凈的水汽及氧氣排除干凈;通過在原料融化后降溫處理使原料表面重新凝結(jié)產(chǎn)生結(jié)晶后,再通過升溫處理重新融化原料,使浮島沉入晶體生長(zhǎng)爐的底部,提高引晶及晶體質(zhì)量。本發(fā)明所提供的藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)工藝適用范圍較廣,適用于任何尺寸任何方法的藍(lán)寶石晶體的生長(zhǎng),特別是大尺寸的藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)。