一種單層大面積石墨烯的制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201811425759.9 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN111217360A 公開(公告)日 2020-06-02
申請(qǐng)公布號(hào) CN111217360A 申請(qǐng)公布日 2020-06-02
分類號(hào) C01B32/186(2017.01)I 分類 無機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 王中健;肖兵;梁歡;黃肖艷 申請(qǐng)(專利權(quán))人 季優(yōu)科技(珠海橫琴)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海宏京知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 季優(yōu)科技(上海)有限公司
地址 201822上海市嘉定區(qū)菊?qǐng)@新區(qū)環(huán)城路2222號(hào)1幢J246室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種單層大面積石墨烯的制備方法,其利用h?BN和石墨烯間的低晶格失配度,通過PECVD降低實(shí)驗(yàn)溫度并提升反應(yīng)速率,直接在介電基底上淀積出了高質(zhì)量的單層石墨烯,實(shí)現(xiàn)大尺寸單層石墨烯的制備。該方法可以克服現(xiàn)有制備過程中的層數(shù)不均勻、反應(yīng)速率慢、需要溫度高等問題,為石墨烯的大規(guī)模應(yīng)用打下良好的基礎(chǔ)。??