一種可控層數(shù)的大面積黑磷薄膜的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201811424965.8 申請日 -
公開（公告）號 CN111223757A 公開（公告）日 2020-06-02
申請公布號 CN111223757A 申請公布日 2020-06-02
分類號 H01L21/02(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 王中健;肖兵;梁歡;黃肖艷 申請（專利權）人 季優(yōu)科技（珠海橫琴）有限公司
代理機構 上海宏京知識產(chǎn)權代理事務所（普通合伙） 代理人 季優(yōu)科技（上海）有限公司
地址 201822上海市嘉定區(qū)菊園新區(qū)環(huán)城路2222號1幢J246室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種可控層數(shù)的大面積黑磷薄膜的制備方法，首先，在襯底上淀積白磷薄膜，白磷薄膜是通過將Ca3(PO4)2、SiO2、C通過化學反應生成白磷蒸汽，并通過控制反應速率得到薄層白磷；然后，將襯底上的白磷薄膜在1200MPa的壓力、473K的溫度下轉化為黑磷薄膜。轉化后黑磷薄膜的層數(shù)是通過控制白磷薄膜的厚度而控制的，制備形成的黑磷薄膜的層數(shù)范圍為單層至三層，制得的黑磷薄膜的薄膜面積尺寸達到厘米級。通過采用本發(fā)明的方法可以制得可控層數(shù)的大面積(尺寸可達到厘米級)黑磷薄膜，突破了目前黑磷薄膜無法大面積制得的局面，有望在大規(guī)模集成電路中獲得應用。??